三相交流 200V×80A 28KVA（最大出力 20KW）

1. 真空処理炉体部
2. 集中制御操作部
3. 真空排気部
4. 冷却水集合部
5. ガスコントロール部
6. 測定記録部
7. 昇降旋回部
8. ガス冷却機構

三相交流 200V×130A 45KVA（最大出力 30KW）

1. 真空処理炉体部
2. 集中制御操作部
3. 真空排気部
4. 冷却水集合部
5. ガスコントロール部
6. 測定記録部
7. 昇降旋回部

真空炉体寸法

Φ900×Ｈ1350(mm)

炉床寸法

Φ1130×t30(mm)

三相交流 200V-約60KW(3×20KW）

1. 真空炉体
2. 炉床（昇降・前後移動機構・架台）
3. 加熱炉 
4. 真空排気装置
5. プラズマ電源 
6. 冷却装置 
7. ガス供給制御装置 
8. 総合操作盤
9. 冷却水集水器
10. 排ガス処理装置 

発振機　　W480×D430×H260

整合器　　W430×D430×H260

三相交流 220V　50/60Hz　6KVA　A種接地

1. 公称出力　5KW 
2. 出力変動範囲　10～100% 
3. 出力調整方式　ｻｲﾘｽﾀ位相制御方式 
4. 発振方式　AFC付ﾌﾟｼｭﾌﾟﾙ型ｲﾝﾊﾞｰﾀ方式 
5. 発振周波数　100KHz±20KHz　の内1波 
6. 所要冷却水　水量　5L/min　水圧0.2~0.5MPa